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芯東西9月17，今天，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科“）于科創板成功過會。華卓精科主營業務為超精密測控設備，產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等，主要應用于集成電路制造、超精密制造、光學、醫療等行業。

光刻機工件臺是光刻機得3大核心部件之一，華卓精科是國內首家自主研發并實現光刻機雙工件臺商業化生產得企業，也是國內光刻機龍頭上海微電子得供應商。目前，華卓精科得DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節點得I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過上海微電子得驗收。

今年7月29日，華卓精科得上市委會議結果為暫緩審議，上市委現場詢問了有關其光刻機雙工件臺得產業化前景、其技術研發是否依賴清華大學、以及2019年和2020年第四季度得大額銷售收入等事項。

報告期內，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。

本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導體裝備關鍵零部件研發制造、超精密測控產品長三角創新與研發中心、集成電路裝備與零部件產品創新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發4個項目。

華卓精科募集資金用途

華卓精科得董事、核心技術人員、首席科學家朱煜為公司得控股股東和實際控制人，其實際控制股份比例為54.23%。上會稿顯示，朱煜為清華大學長聘教授，華卓精科得一眾高管也都有清華背景。

華卓精科股權結構

根據上會稿，華卓精科在報告期內營收持續增長，且增速較快。華卓精科2018年-2020年各期營收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元。其2019年營收增幅達41.14%，2020年營收增幅則為25.94%。

凈利潤方面，華卓精科2018年、2019年、2020年凈利分別為1512.36萬元、2087.24萬元和1242.83萬元。

上會稿稱，華卓精科其營收增速較快主要是因為下游終端市場需求旺盛以及半導體設備國產替代趨勢得影響。2020年，華卓精科凈利潤下降較多，則由于其管理費用、貸款利息、計提預計信用損失大幅增加。

華卓精科2018年-2020年營收與凈利潤變化

具體來說，華卓精科得營收組成可分為超精密測控裝備部件、超精密測控裝備整機與其他3類。

其中，超精密測控裝備部件主要為精密運動系統及技術開發、光刻機雙工件臺模塊及技術開發、經典卡盤及技術開發和隔振器4類；超精密測控裝備整機則可以分為晶圓級鍵合設備及技術開發與激光退火設備。

華卓精科得主要收入為精密運動系統及技術開發，在報告期內其業務營收組成比例波動較大。2020年光刻機雙工件臺收入占其總營收得11.42%，在2019年該項收入則為0。

上會稿稱，光刻機雙工件臺技術開發難度較大。2019年，上海微電子作為國內唯一得光刻機整機廠商未完成對合同內容驗收，因此華卓精科該業務收入為0。

2018年-2020年華卓精科各業務收入占比變化

從客戶情況來說，華卓精科主要客戶為半導體等領域得企業，高校客戶收入占比較低。中科飛測、上海微電子在報告期內一直為華卓精科得前五大客戶。

2018年-2020年，華卓精科向前五大客戶得銷售收入占主營業務收入比例分別為50.23%、53.57%及58.03%。雖然前五大客戶得銷售占比不高，但上海微電子是國內唯一得光刻機整機廠商，所以一定程度上華卓精科光刻機雙工件臺得商業化前景取決于上海微電子得光刻機整機銷售情況。

華卓精科報告期內前五大客戶

在原材料采購方面，華卓精科所需原材料主要可分為基礎材料、電氣類、機械類和光學類。2020年，華卓精科對機械類和電氣類原材料采購金額較高，占比合計達76.39%。

2018年-2020年華卓精科向前五大供應商合計采購金額占比分別為37.69%、29.41%及20.63%，呈下降趨勢。翟柯萊姆達、Zygo Corporation和山東鑫磊精密機械有限公司在2019年和2020年是華卓精科得前五大供應商。

華卓精科報告期內前五大供應商

對光刻機市場來說，主要廠商有荷蘭ASML和日本尼康、佳能和華夏上海微電子4家。

尼康和佳能主要采用“In House”生產模式，即光刻機得主要子系統均由整機廠研發和生產。ASML早期采用“Out House”生產模式，即僅負責整機得設計和子系統得需求定義，子系統由第三方廠商進行生產。2010年后，ASML也開始自行設計工件臺。

上會稿指出，無論上述整機廠商采取何種研發、生產模式，其工件臺均不單獨對外銷售。這也意味著華卓精科對于光刻機得國產化替代較為重要。

具體而言，華卓精科得DWS系列光刻機雙工件臺產品和ASML得干式深紫外（DUV）光刻機雙工件臺處于同一架構，但性能落后于競品；華卓精科得浸沒式DWSi系列產品尚未完成研發；在極紫外（EUV）領域，華卓精科尚未推出產品。

截至蕞新得上會稿簽署，華卓精科DWS系列光刻機雙工件臺累計發貨4臺，目前仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子蕞終驗收。

華卓精科光刻機雙工件臺與ASML所用工件臺對比

此外，在精密運動系統、晶圓級鍵合設備、激光退火設備、靜電卡盤等不同得市場，華卓精科還需要面對不同得國內外競爭對手。這些對手既有Aerotech、應用材料、泛林半導體、東京電子、住友重工等國外巨頭，也有中微公司、長川科技、北方華創等國內半導體設備廠商。

相對來說，華卓精科存在融資渠道單一、品牌知名度較低、客戶資源較為劣勢等差距。此外，華卓精科得晶圓級鍵合設備、激光退火設備等仍處于小批量定制生產階段，未實現規模化量產，其光刻機雙工件臺也尚未通過下游客戶驗收。在產線豐富度和產品性能上，華卓精科同樣和行業龍頭存在差距。

華卓精科產品業務與行業龍頭差距以及產品量產情況

盡管華卓精科得產品和行業龍頭相比存在不少差距，但是由于該公司較為豐富得技術積累，其產品填補了多項國內空白，促進了半導體制造設備和核心部件得國產替代進程。

截至2021年6月30日，華卓精科共擁有198項專利以及1項專利獨占權，其中包括發明專利148項、實用新型43項、外觀設計2項、美國專利5項。

因為朱煜是清華大學得長聘教授，華卓精科與清華大學存在較為密切得技術交流、合作。上會稿寫道，華卓精科承接了清華大學原發技術積累，并在報告期內委托清華大學進行了65nm雙工件臺關鍵技術測試開發項目。

華卓精科與清華大學作為共同專利權人擁有得專利共計162項，其中協議轉讓方式獲取得專利115項、委托開發方式獲取得專利30項、合作研發方式獲取得專利17項，清華大學授權華卓精科獨占實施許可得專利1項。

華卓精科和清華大學共有專利、專利實施許可、技術轉讓情況

華卓精科研發人員共有133人，占員工總數比例為33.08%。核心技術人員共有7人，分別為朱煜、張鳴、楊鵬遠、陳靜、張利、張豹和劉效巖，其中朱煜和張鳴為華卓精科原有核心技術人員。

朱煜2001年于華夏礦業大學獲機械設計及理論可以博士學位。畢業后，朱煜曾先后于華夏礦業大學和清華大學從事教學和博士后工作。2004年10月至今，朱煜為清華大學教授，也是科技部重點領域創新團隊負責人及China02科技重大專項技術副總師。此外，朱煜在全球擁有授權專利227項，其中發明專利173項；他還發表了200余篇論文，出版專著2本。

2007年和2016年，朱煜曾在北京七星華創電子和北方華創任獨立董事；2012年5月至2015年7月，他任華卓有限董事長兼總經理；2015年8月至2015年9月，朱煜為華卓精科董事長；2015年9月至今，他擔任華卓精科董事、首席科學家。值得一提得是，朱煜也是國產CMP廠商華海清科得股東，擁有華海清科4.98%得股份。

華卓精科董事、首席科學家朱煜

張明2005年于清華大學獲機械工程可以博士學位。1999年3月至2000年7月，他在華夏運載火箭技術研究院任助理工程師；2005年7月，張鳴在清華大學任博士后、助理研究員、副研究員等職。2017年8月，張鳴任華卓精科技術顧問；2018年2月起，他開始擔任華卓精科董事。

張鳴曾參與過China重大專項、973計劃、863計劃等6項級別高一點項目，發表論文66篇，其中SCI期刊收錄17篇。目前，張鳴擁有China授權專利164項，其中發明專利147項。

當前朱煜、張鳴已取得清華大學兼職批復，作為兼職人員在華卓精科任職。兩人也承諾，如果華卓精科順利上市，其將繼續向清華大學辦理兼職批復，繼續從事兼職工作；如果未能取得清華大學同意兼職得批復，則將從清華大學辦理離職手續并全職在華卓精科工作。

華卓精科部分技術人員在清華大學任職情況

根據上會稿，朱煜直接持有華卓精科35.72%得股份，他還通過艾西科技和艾西博銳持有5.45%得股份。而華卓精科得徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮7名股東合計持有13.06%得公司股份，并于與朱煜保持一致行動關系。所以朱煜實際控制得股份比例為54.23%，是華卓精科得實際控制人和控股股東。

此外，持有華卓精科股份比例超過5%得股東還有水木愿景和水木長風兩家公司，持股比例分別為8.75%和6.78%。華卓精科董事長吳勇為水木愿景、水木長風和吳勇本人推薦擔任。

華卓精科股東名單

與此前過會得華海清科類似，華卓精科也是依托于清華大學得技術積累，并通過“產學研用”模式，將學術成果轉化為商用化產品，填補了華夏光刻機工件臺這一半導體核心部件得空白。

因此，華卓精科如果能夠上市成功，對華夏光刻機得國產替代有著積極意義。但同時，華卓精科得產品業務較多，部分產品尚未規模化量產，能否在這些已經比較成熟得行業獲得成功仍需觀望。